JEL SWCR3160CS
3軸円筒座標型クリーンロボット（防水対応）
特徴です
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）
保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています
アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保
アーム関節部防水構造にVシール使用
部品の接合部はバイトンパッキンによりシール
Z軸部防水構造にジャバラ使用
動作モニター装備
制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
全軸2相ステッピングモータ使用
S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
ウェーハ保持：真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能