JEL GCR4280
晶圆搬运机械手臂
4轴水平多关节型洁净机械手臂
产品特点
超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型洁净机械手GCR4000-AM系列
适用于支持300mm及以内都可以搬运的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运
机械手臂可以单独对应3个直线放置FOUP
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
手指材质：CFRP（碳纤维), 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指